Apreo 2 SEM掃描電鏡如何提高圖像的分辨力

　　Apreo 2 SEM掃描電鏡可以獲得高分辨率和真實的厚樣品形貌掃描電子顯微鏡的分辨率介于光學顯微鏡和透射電子顯微鏡之間，但在比較厚樣品的觀察時，由于透射電子顯微鏡也采用層壓法，層壓的分辨率通常只有10nm，而且觀察的不是樣品本身。因此，用掃描電鏡觀察厚樣品，獲得樣品的真實表面數據更為有利。
 

　　為提高Apreo 2 SEM掃描電鏡圖像的分辨力，常采用的途徑和方式有下列幾種。
 

　　(1)在物鏡的極靴附近加設一個特殊的附加靜電裝置，用來同時匯集一次電子并提取二次電子，再加上物鏡頂部環形探測器接收的面積大，靈敏度高，在短工作距離下能明顯改善圖像的信噪比和提高分辨力。
 

　　(2)采用透鏡內探測器或安裝在物鏡上方的探測器(TLD-SED)，都能明顯改善低加速電壓和短工作距離時的圖像信噪比和分辨力。在WD較小時，不僅可以減小物鏡球差和消除傳統E-T探測器前端柵網上加速電位帶來的影響，而且它接收到的幾乎都是在入射束照射下直接產生的二次電子，排除了背散射電子等其他信號所產生的次生或間接的二次電子，因而有助于提高圖像分辨力。
 

　　(3)利用高亮度的場發射電子槍來作電子源的陰極以提高束流密度，從而提高亮度。
 

　　(4)縮短工作距離，既可以相對增大信號量、提高信噪比，又可以減小像差，也就是把試樣盡量移近物鏡極靴，這類似于光學顯微鏡中的短焦距“浸沒透鏡”方式。物鏡的極靴區是獲得高分辨圖像的有效部位但由于該處的空間很小，一般只有毫米級的試樣才能進得去，而且試樣的移動范圍很小，操作起來要格外小心，否則容易“四處碰壁”。這種模式由于焦距短，束斑受外界的影響小，像差也小，且能進入到該區域的試樣座也要小，小樣品臺的穩定性相對會比較好，所以在該區域拍攝的照片，其圖像分辨力能得到明顯提高。
 

　　(5)使用強磁透鏡，這是在透射電鏡中裝上附加的掃描附件，使試樣發出的二次電子在強磁場中被檢測、收集成像，即利用透射電鏡的掃描附件做出掃描電鏡才能完成的二次電子像，而且這種二次電子像的分辨力往往優于同類電子槍的專業掃描電鏡。